B.主要技術指標:
1、驅動箱水平滑行范圍:120mm;
2、驅動箱滑行速度:0.2,0.5,0.8,1mm/s;
3、傳感器返回形式:手動,自動;
4、基準導軌的直線性: 1μm/100mm;
5、驅動箱升降:滾動絲杠升降系統,機動升降,自動對準零位;
6、立柱垂直測量高度:270mm;
7、工作臺結構:460mm×720mm大理石平臺;
8、形狀測量系統:
1)測量原理:垂直方向:觸針法,光柵傳感器;
水平方向:直線光柵;
2)測量范圍:垂直40mm,水平120mm;
3)測量精度:垂直±(2+│H│/5000)μm,水平±4μm/100mm;
4)垂直分辨力:0.05μm;
5)水平分辨力:1μm ;
6)測量參數:垂直距離,水平距離,兩直線夾角,圓弧半徑,圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓輪廓度等形位公差參數;
7)圖形放大倍率:無級連續放大;可至最小800倍,最大80000倍;
8)傳感器測桿長:220mm;
9)測針長度:33mm;
10)針尖角度:11°;
11)針尖半徑:20μm;
12)測力:0.02-0.06N;
13)傳感器滑行角度:上升角≤77°,下降角≤88°;
9、微觀輪廓測量系統
1)測量范圍:垂直40μm(1200μm),水平120mm;
2)表面粗糙度Ra示值誤差:≤±5%
3)最小分辨力:垂直0.6mm,水平1μm;
4)取樣長度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;
5)評定長度:N倍取樣長度,N=1,2,3,4,5;
6)粗糙度測量參數:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
7)波紋度測量參數:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
8)原始輪廓測量參數:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
9)微觀輪廓測量參數:│X2-X1│,│Z2-Z1│;
10)圖像分析功能:支承率曲線、幅度分布曲線、輪廓峰密度等;
11)輪廓圖形垂直放大倍率:1-500000可選,亦可手動輸入;
12)輪廓圖形水平放大倍率:1-50000可選,亦可手動輸入;
13)傳感器測針:金剛石棱錐,錐角90°,針尖半徑2μm。
|